質(zhì)量流量計(jì)是一種熱導(dǎo)式儀表早在本世紀(jì)初，托馬斯(Thomas)提出了它的原型，后幾經(jīng)變革慚趨善。目前許多國家有這類流星計(jì)的工業(yè)產(chǎn)品，廠泛應(yīng)用于各個工業(yè)生產(chǎn)及科學(xué)實(shí)驗(yàn)的領(lǐng)域。雖具結(jié)構(gòu)各有差異，但其原理是基本一致的。我國自1976年以來，也已有幾種產(chǎn)品陸續(xù)間世，較多地用于原子能工業(yè)及半導(dǎo)體制造工業(yè)。我們曾用于80大氣壓微型催化反應(yīng)裝置中計(jì)量氫氣流量，己得了成功的經(jīng)驗(yàn)。
質(zhì)量流量計(jì)原理
這種流量計(jì)的基本原理是在一很小直徑(4毫米)的薄壁金屬管(常用不繡鋼、純鎳或蒙乃爾臺金等蝕合金)的外壁，對稱繞上四組電阻絲，相互聯(lián)接組成惠斯頓電橋，其守橋留繞組l與繞3分內(nèi)、外兩層平繞于管了左側(cè)(上游)，繞組2與6則同樣地繞于管子的右側(cè)(下游)。如圖接上電流的直流電源后，電流通過繞組而致升溫，沿金屆導(dǎo)管軸向形成一個對稱分布的溫度場(圖中實(shí)所示)。當(dāng)氣體流經(jīng)導(dǎo)管時因氣體吸熱而使上游管壁溫度下降，通過下游時氣體放熱，管壁溫度上導(dǎo)致了溫度場的變異，即溫度最高點(diǎn)位置向右偏移(圖中虛線所示)。電阻絲采用電阻溫度系數(shù)較的材料能靈敏地反映溫度的變化而使電橋失去平衡。最后，將電橋的不平衡電壓訊號放大或者轉(zhuǎn)成電流訊號。
應(yīng)用實(shí)例
1.石油化工行業(yè)
應(yīng)用場合：火炬氣排放監(jiān)控
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：寬量程比，傳感器不易堵塞，可在線插拔清洗，適用氣體廣泛
2.電力行業(yè)
應(yīng)用場合：鍋爐一次風(fēng)、二次風(fēng)、磨煤風(fēng)的風(fēng)量測量
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：安裝簡便，無直管段要求，低壓力損失，無需溫壓補(bǔ)償，可在苛刻的條件下使用(如：空氣中
含有粉塵、顆粒、磨損嚴(yán)重、低壓力等)
3.冶金行業(yè)
應(yīng)用場合：高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣測量
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：按實(shí)際介質(zhì)組份標(biāo)定，可對組份變化進(jìn)行修正，可在線清洗傳感器，插入長度可任意調(diào)整
4.電子行業(yè)
應(yīng)用場合：高純度氣體質(zhì)量流量測量
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：無需溫壓補(bǔ)償直接測量質(zhì)量流量，傳感頭經(jīng)過高度拋光，可用于貿(mào)易結(jié)算
5.供暖通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng)(HVAC)
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：產(chǎn)品反應(yīng)靈敏、運(yùn)行可靠，對安裝直管段無嚴(yán)格要求
6.水處理行業(yè)
應(yīng)用場合：測量曝氣池的空氣流量
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：耐臟、耐塵，真正無壓降，現(xiàn)場安裝簡便
7.食品行業(yè)
應(yīng)用場合：向反應(yīng)器中通入適量氣體，控制過程及質(zhì)量
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：衛(wèi)生級3A，高純凈度，所有接液表面采用不銹鋼，寬量程比
